電子顯微分析涉及的設(shè)備包括透射電子顯微鏡、掃面電子顯微鏡以及電子探針儀

傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡的局限性：

根據(jù)衍射理論導(dǎo)出光學(xué)顯微鏡分辨本領(lǐng)（剛好區(qū)分兩個點的能力）的公式：

其中，r為分辨本領(lǐng)（即可分辨的最小尺寸）；λ為照明源的波長；n為透鏡上、下介質(zhì)的折射率，а為透鏡孔徑半角，進一步nsinα稱為數(shù)值孔徑。

可以看到，要提高顯微鏡的分辨本領(lǐng)（即可分辨的最小尺寸更?。?，則要求照明源的波長減小，即利用短波長光源就可提高顯微鏡的分辨能力。

透射電子顯微鏡（TEM）

透射電鏡以電子束為照明源并利用磁透鏡對電子束聚焦

透射電鏡的基本構(gòu)造

TEM基本成像原理：

透射電鏡以電子束為照明源，在加速電壓以及電磁透鏡聚焦的作用下將電子束投射到樣品上，電子束與樣品相互作用其實質(zhì)是電子束與樣品內(nèi)的原子相互碰撞而引起電子束運動方向發(fā)生改變，從而形成立體角散射并得到明暗不同的圖案，該圖案與樣品的原子序數(shù)、電子密度以及樣品厚度有關(guān)。TEM成像方式與光學(xué)顯微鏡近似，只是照明源以電子替代了光子，電磁透鏡替代玻璃透鏡。

TEM的主要性能指標(biāo)包括：分辨率、放大倍數(shù)以及加速電壓

透射電鏡中待測樣的制備方法

1、粉末樣品制備

①用超聲波分散器將待測樣粉體均勻分散在溶液中并形成懸浮液（該溶液應(yīng)不與粉體反應(yīng)）；②用滴管將上述懸浮液滴在覆蓋有碳膜的電鏡銅網(wǎng)上；

③待其干燥后（風(fēng)干或濾紙吸干），就制成了所需的用于電鏡觀察的粉末樣品（如需檢查粉末在銅網(wǎng)上的分散情況，可用光學(xué)顯微鏡進行觀察）；

④制樣完成后，將其裝入電鏡樣品桿中并進行電鏡觀察。

備注：所述的電鏡銅網(wǎng)根據(jù)需求可選擇不同規(guī)格。之所以在銅網(wǎng)上覆蓋碳膜的目的在于避免電荷的積累，提高成像質(zhì)量（PS：下期我們會專門講解下電鏡銅網(wǎng)相關(guān)知識）。

2、薄膜樣品制備

①初減薄-初步獲得厚度在100~200μm的薄片；

②進一步從所述薄片上切取直徑為3mm的圓片；

③預(yù)減薄-從圓片一側(cè)或兩側(cè)將圓片中心區(qū)域減薄至幾個微米；

④終減薄一般利用超薄切片、電解拋光、化學(xué)拋光以及離子轟擊等方式得以實現(xiàn)